在半導(dǎo)體制造、納米材料研發(fā)及微電子器件測試領(lǐng)域，對樣品與測試設(shè)備進(jìn)行納米級電學(xué)表征是突破技術(shù)瓶頸的關(guān)鍵。北京儀光推出的微納探針臺憑借其亞納米級定位精度與多維度功能集成，成為推動微納電學(xué)研究邁向新高度的核心工具。

　　一、三維空間納米級定位：突破物理極限的操控藝術(shù)

　　澤攸微納探針臺采用壓電陶瓷驅(qū)動技術(shù)，通過三軸獨(dú)立運(yùn)動臺實(shí)現(xiàn)X/Y/Z方向±10mm的行程控制，運(yùn)動分辨率達(dá)0.5nm。其核心創(chuàng)新在于柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)與零間隙傳動設(shè)計(jì)，確保在宏觀行程范圍內(nèi)仍能保持亞納米級定位精度。例如，在測試量子點(diǎn)陣列的載流子遷移率時(shí)，探針臺可精準(zhǔn)定位至單個(gè)納米晶粒表面，通過0.1nm步進(jìn)調(diào)整探針接觸點(diǎn)，消除傳統(tǒng)設(shè)備因定位誤差導(dǎo)致的測量偏差。

　　二、多模態(tài)電學(xué)表征：從靜態(tài)參數(shù)到動態(tài)響應(yīng)的全譜解析

　　該設(shè)備支持IV/CV特性測試、霍爾效應(yīng)測量及高頻射頻分析，覆蓋直流至1THz的寬頻域。在碳納米管場效應(yīng)晶體管研發(fā)中，其低電流測量模塊可捕獲fA漏電流信號，結(jié)合脈沖式電壓掃描功能，可動態(tài)監(jiān)測柵極電壓對溝道電導(dǎo)的調(diào)制過程。更值得關(guān)注的是，通過集成光纖探針與納米鑷子，設(shè)備可同步實(shí)現(xiàn)電學(xué)測試與光致發(fā)光/力-電耦合表征，為二維材料異質(zhì)結(jié)研究提供多物理場協(xié)同分析手段。

　　三、真空環(huán)境兼容性：原位表征的技術(shù)突破

　　針對掃描電鏡（SEM）腔體內(nèi)的原位測試需求，澤攸探針臺采用全金屬密封結(jié)構(gòu)與無油潤滑設(shè)計(jì)，可在10?? Pa高真空環(huán)境下穩(wěn)定工作。在北京大學(xué)核殼結(jié)構(gòu)填料研究中，研究人員利用該設(shè)備在SEM內(nèi)直接測量氧化鋁包覆銀微球的絕緣電阻，通過單球電氣測試證實(shí)涂層電阻較原始銀微球提升6個(gè)數(shù)量級。這種原位表征能力避免了樣品轉(zhuǎn)移過程中的污染風(fēng)險(xiǎn)，為核殼材料電-熱協(xié)同優(yōu)化提供了可靠數(shù)據(jù)支撐。

　　四、智能化操作體系：從實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)到數(shù)據(jù)分析的全流程賦能

　　設(shè)備配備12英寸高清觸控屏與三維可視化軟件，支持自動路徑規(guī)劃與碰撞預(yù)警功能。在測試3D集成芯片的TSV通孔時(shí)，系統(tǒng)可自動識別數(shù)萬級微凸點(diǎn)陣列，規(guī)劃較優(yōu)測試路徑并將單點(diǎn)測試時(shí)間壓縮至0.3秒。結(jié)合AI輔助數(shù)據(jù)分析模塊，設(shè)備可實(shí)時(shí)提取肖特基勢壘高度、界面態(tài)密度等關(guān)鍵參數(shù)，并生成符合IEEE標(biāo)準(zhǔn)的測試報(bào)告。
 

　　從量子器件研發(fā)到先進(jìn)封裝測試，澤攸微納探針臺正以納米級精度重構(gòu)電學(xué)表征的技術(shù)邊界。其創(chuàng)新性的機(jī)械設(shè)計(jì)、多模態(tài)測試能力及智能化操作體系，不僅為微納電子學(xué)研究提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐，更推動著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向原子級制造時(shí)代加速邁進(jìn)。