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Sensofar平面度測(cè)量白光干涉儀搭配0.65X物鏡，具有很大視野的物鏡和較高精度的載物臺(tái)，在平面度、平行度和臺(tái)階高度測(cè)量方面提供了較佳的表現(xiàn)。S neox 持續(xù)成為多功能性的先驅(qū);這次帶來了具有最大視野的物鏡放大倍率和最高精度的載物臺(tái)，在平面度、平行度和臺(tái)階高度量測(cè)方面提供了最佳表現(xiàn)。

Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光干涉輪廓儀結(jié)合了高精度旋轉(zhuǎn)模塊和S neox 3D光學(xué)輪廓儀的檢測(cè)和分析功能在位置上實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)地3D表面測(cè)量，并結(jié)合在一起，完成全表面的3D立體測(cè)量。

全新設(shè)計(jì)的Sensofar共聚焦白光干涉儀 S neox區(qū)別于傳統(tǒng)白光干涉儀，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融于一身，測(cè)量頭內(nèi)無運(yùn)動(dòng)部件。能夠測(cè)量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的三維形貌,測(cè)量應(yīng)用。Sensofar的核心是將3種測(cè)量方式融于體，確保了其優(yōu)異的性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng)，用戶將獲得出色的直觀操作體驗(yàn)。

Sensofar白光干涉：不受反光材料的影響，Sensofar 表面輪廓儀 S neox的光學(xué)干涉技術(shù)Sensofar 白光干涉S neox儀高數(shù)值孔徑物鏡 的一大核心亮點(diǎn)。在其傳感器頭中，巧妙集成了干涉、共聚焦、Ai 多焦面疊加和膜厚測(cè)量等多種*測(cè)量技術(shù)。只需輕松點(diǎn)擊一次，系統(tǒng)便能依據(jù)當(dāng)前測(cè)量任務(wù)的具體需求，自動(dòng)智能地切換到較為適配的優(yōu)良技術(shù)。

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