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西班牙SensofarSneox三維共聚焦白光干涉儀用于汽車發(fā)動機缸套的紋理幾何形狀評估激光加工可通過應用紋理來開發(fā)工程表面，可以產生增強的功能性能，如表面摩擦、觸感行為、潤濕性能等。使用皮秒和飛秒級的超短脈沖進行激光加工，可加工出具有高度精確的微觀幾何形狀、邊緣和表面的表面紋理。五軸激光加工能夠對具有復雜輪廓的三維組件進行無縫紋理處理。測量數(shù)據(jù)SensofarSneox3D光學輪廓儀已成為MTC表面紋理不可或*的一部分，發(fā)揮了重要作用。與汽車公司合作的實驗研究中，MTC開發(fā)...

背景條紋投影原理將結構光以一定角度投射到樣本上，用相機接收反射光。投射到某個表面上時，投射光型改變，因此，通過確定條紋圖形與高度變化之間的相互關系，我們就可獲得3D圖像。光學方案為了在現(xiàn)場樣本上獲得均勻、聚焦且等距的條紋投影，Scheimpflug配置與雙遠心鏡頭一起使用。不管物體在視場中的距離或位置如何，均有恒定的放大倍率，是測量用途的理想之選。主要特征正確單拍采集垂直精度高的大區(qū)域而且可重復性高(σ=0.01µm)，系統(tǒng)噪聲低至0.5µm實像顏色沒...

主動照明多焦面疊加是一種為了測量粗糙的表面形狀而開發(fā)的光學技術。這項技術基于Sensofar在共聚焦和干涉3D測量領域的廣泛專業(yè)知識，專門設計用于補充低放大率下的測量。BACKGROUND多焦面疊加原理主動照明多焦面疊加技術利用了明場中存在景深的特點，樣品只有在的特定z范圍中對焦。景深會根據(jù)物鏡的數(shù)值孔徑或光源波長而變化。Z高度的值是根據(jù)圖像的高對比度（清晰度或微小細節(jié)）來計算的，從而得出正確的對焦位置。光學技術我們的光學技術是通過專*的microdisplay來實現(xiàn)，光線會...

Sensofar共聚焦白光干涉儀|共聚焦技術共聚焦技術能夠測量表面高度，將常規(guī)圖像轉換成光學剖面，其中，物鏡焦深范圍內的那些區(qū)域的信號被保留，改善了圖像對比度、橫向分辨率和系統(tǒng)噪聲。光學方案對于3D成像，必須從相機的所有像素獲取數(shù)據(jù)。這意味著：重新構建共聚焦圖像。為此，多狹縫圖像偏移一個像素，達到必要的次數(shù)，以填充相機。多狹縫每偏移一次，拍一張相機圖像，對那一刻照亮的像素應用共聚焦算法。SENSOFAR專*技術光學結構中沒有運動零件Sensofar系統(tǒng)中實施的共聚焦掃描技術是...

干涉工作原理干涉技術的工作原理是：將光分成光學傳播路徑不同的兩個光束，然后再合并，從而產生干涉。干涉物鏡允許顯微鏡作為干涉儀而工作；焦點對準后，可在樣本上觀察到條紋。光學方案PSI的光學方案與FV具有相同配置，但是現(xiàn)在采用干涉物鏡而不是明場。為了獲得形貌，沿著Z方向掃描傳感器頭。對于PSI，掃描幾微米，并檢索相位。對于CSI，掃描需要的微米數(shù)，以掃描完整表面。PSI:相移干涉對于所有數(shù)值孔徑(NA)，開發(fā)了相移干涉法(PSI)，以亞埃分辨率測量高度光滑和連續(xù)表面的高度?？梢允?..

薄膜透明層沉積在表面上時，其反射率會變化。該系統(tǒng)獲取可見范圍內樣本的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，對層厚進行修改，直到找到匹配的厚度。對于薄膜，厚度與光波長類似，我們沿著光譜獲得波浪狀的反射率響應。主要特征從50nm到1.5μm厚的透明薄膜可在不到5秒的時間內測得從50nm到1.5μm厚的透明薄膜不到5秒內采集一個物鏡可覆蓋整個范圍不同光斑大小(3.5μm到40μm)

SensofarCSI（白光干涉）是如何運作的?Sensofar干涉為了測量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度，通過干涉技術，可在任何放大倍率下實現(xiàn)相同的系統(tǒng)噪聲，它可實現(xiàn)優(yōu)于0.01nm的系統(tǒng)噪聲。干涉工作原理干涉技術的工作原理是：將光分成光學傳播路徑不同的兩個光束，然后再合并，從而產生干涉。干涉物鏡允許顯微鏡作為干涉儀而工作；焦點對準后，可在樣本上觀察到條紋。CSI（白光干涉）使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均達到1nm的高度分辨率。采用干涉法，...

本案例研究中，Linkam和SensofarMetrology展示了在為溫控光學輪廓測量實驗生產實驗裝置方面的合作。由于球面像差引起的成像問題，在過去一直是一個難點工序。使用Linkam的精密冷熱臺和Sensofar的Linnik物鏡解決了這些問題，實現(xiàn)了納米材料3D形貌輪廓的精確測量。我們觀察了硅晶片在20°C到380°C溫度范圍內的形貌變化?？焖贌崽幚恚≧TP）是硅晶片制造過程中的一個重要步驟，其中晶片在短時間內快速加熱到高溫，然后以受控方式緩慢冷卻，為晶片賦予所需的半導...